佳能新发售KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”Grade10升级包 每小时晶圆产能可达300片 实现半导体光刻行业更高水平生产

日期:2022-06-14

       佳能将于2022年8月初发售KrF*1半导体光刻机“FPA-6300ES6a”的“Grade10”产能升级配件包(以下简称“Grade10”升级包)。KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”自发售至今,已经在生产存储器和逻辑电路的大型半导体器件制造厂商中收获良好口碑,此次发布的“Grade10”升级包将助力该设备在300mm晶圆规格基础上,以每小时高达300片*2晶圆的加工能力实现半导体光刻行业内的更高水平*3



佳能半导体光刻机“FPA-6300ES6a”


投入工厂运行的“FPA-6300ES6a”设备


       随着市场对半导体器件需求的持续增长,半导体器件制造厂商也在不断寻求具备更高生产能力的半导体光刻设备。自2012年4月推出KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”以来,佳能在提升设备生产能力的过程中不断实现产品的升级与迭代,并在市场中赢得了客户群体的广泛认可和高度信赖。


       新发布的“Grade10”升级包能够在300mm晶圆规格基础上,实现每小时300片晶圆的高效率生产。此外,这一升级包将于2023年在KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”的200mm兼容设备上得到应用。


实现行业更高水准的生产效率

       “Grade10”升级包通过加快工作台和传送系统的驱动,缩短了曝光时间和传输时间,以每小时300片晶圆的产能,实现半导体光刻行业的更高水准生产。同时,这是佳能在半导体光刻设备上首次搭载基于人工神经网络*4的工作台控制系统,减少高速驱动产生的振动,以保持高精度光刻水准。此外,通过选取套刻精度(Overlay)配件,在提升产能的同时,更可实现高达4nm*5的套刻精度。


支持现有设备的升级

       对于已经在半导体器件制造厂商中投入使用的KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”*6,无需更换设备即可通过使用“Grade10”升级包进一步提高生产效率。


       未来,佳能将继续带来多样化的解决方案,并提供能够有效提升生产效率的配件升级,更好地满足半导体光刻设备市场的需求。


  1. 使用波长248nm,由氪(Kr)气体和氟(F)气体产生的激光的半导体光刻机。1纳米(纳米)是10亿分之一米。
  1. 在300mm晶圆规格基础上和96次曝光条件下,每小时的晶圆曝光处理数量。
  1. 在支持300mm晶圆规格的KrF半导体曝光设备中;统计时间截至2022年6月12日(佳能调查显示)。
  1. 模仿脑神经结构的机器学习算法之一。
  1. 单机自身的套刻精度。
  1. 需要应用于KrF半导体光刻机“FPA-6300ES6a”的Plus机型。


       **为方便读者理解,本文中佳能可指代:佳能光学设备(上海)有限公司,佳能(中国)有限公司,佳能股份有限公司,佳能品牌等。


参考信息:

<什么是步进式扫描光刻机?>

       “重复步进并多次扫描曝光”的装置称为“步进扫描光刻机”,该装置通过控制掩模台与工作台的同步运动的方式实现曝光动作。由于步进式扫描光刻机的扫描仪可以在扫描操作中覆盖曝光视角,因此其主要优点是易于通过调整镜头的有效区域来扩大数值孔径(NA, Numerical aperture),并在镜头像差较小的部分进行曝光,从而更好地抑制曝光失真,带来高精度曝光。


<佳能半导体光刻设备>

       佳能目前拥有i线光刻机和KrF光刻机产品线,同时也在不断丰富其多元化半导体光刻设备阵容,以更好地满足市场对于更大面积像场、更小尺寸掩膜版,和更丰富的物联网功能的需求。

       主要产品规格介绍 https://global.canon/en/product/indtech/semicon/


<了解半导体光刻设备工作原理的网站>

■ 佳能技术网站分享:半导体光刻设备是如何工作的?

       在下方网站中我们将以通俗易懂的方式呈现半导体光刻设备技术及其工作原理:

       https://global.canon/en/technology/semicon2021s.html


■ 佳能半导体光刻设备网站

       在下方网站中,我们通过插图和视频等富有趣味的方式,对半导体光刻设备的工作原理与性能进行了介绍。此外,我们还为青少年开设了专门的页面,以轻松、愉悦的方式介绍光刻技术:

       https://global.canon/en/product/indtech/semicon/50th/


<佳能光学设备(上海)有限公司介绍>

       佳能光学设备(上海)有限公司是佳能在中国大陆地区成立的提供半导体及液晶面板生产设备营业辅助业务和技术支持业务的公司。所经营的产品除了佳能股份有限公司制造的半导体及液晶面板生产用曝光装置以外,还包括佳能机械公司,佳能安内华公司以及佳能特机公司承接的全部半导体及液晶面板生产设备。

       佳能在中国大陆地区从事半导体及液晶面板生产设备业务的历史可以追溯到20世纪80年代,当时开始向中国出口半导体曝光装置(接近式曝光装置、镜面投影式曝光装置)。20世纪90年代又为上海地区的半导体客户企业提供了i线Stepper、等离子除胶设备、常压成膜设备等各类佳能集团制造的半导体设备。进入21世纪,随着中国半导体前道工艺的迅速发展,佳能进一步将KrF Scanner等高端的半导体光刻装置引进到国内。当时,佳能与三井物产集团建立了合作伙伴关系,进一步扩大了在中国的产品销售范围,在中国的液晶面板生产设备市场也得到了顺利的拓展,其中佳能的液晶面板曝光装置从中国液晶产业初期开始始终保持着极高的市场占有率。

       如今,在半导体、液晶面板以及有机EL板等高科技制造业领域,佳能正在加快向亚洲生产基地、尤其是向中国市场的投资转移。今后佳能光学设备(上海)有限公司将作为佳能集团与顾客之间的桥梁,进一步加强对客户企业的支持力度,力争以此实现提高顾客满意度、扩大事业规模的目标。

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