日期:2022-09-05
佳能将于2022年9月5日起发售解决方案平台“Lithography Plus1”服务(以下简称“Lithography Plus”),该系统汇聚佳能在半导体制造领域超过50年的技术积淀,以包括曝光工艺在内的海量半导体制造数据为支持,在提升设备维护运转率的同时,能够实现半导体制造工艺的优化。
Lithography Plus 解决方案平台
服务场景
KrF光刻机“FPA-6300ES6a”
佳能陆续推出了具有高处理性能的KrF光刻机和支持多种设备的i线光刻机等一系列产品,多年来一直积极地为购置佳能光刻机的客户提供技术支持。“Lithography Plus”通过综合运用技术经验与数据积累,在实现高效维护作业的同时,提高了光刻机运转率,助力生产效率的提升。
1.为半导体光刻机带来更高效的运营支持
该系统具有光刻机状态分析、定期维护结果分析和光刻机停止原因分析多种功能。根据这些数据,光刻机操作员可以更轻松地制定部件更换与维护方案,做好光刻机的曝光质量控制。此外,该系统的“控制面板(Dash Board)”功能可实现工厂内多个光刻机数据可视化,进一步提高了操作员维护业务的效率。
2.搭载能够有效提升半导体光刻机运转率的功能
通过“异常检测”功能,可监视光刻机的工作状态,检测发生的异常及征兆,防止光刻机停止工作。此外,“自动恢复”功能也有助于故障修复作业。作业无法自动恢复时,可以通过分析设备状态,提供故障修复手册,详细介绍修复方法,来确保故障的顺利修复。此外,佳能的专家工程师可以通过远程客服系统,远程共享和了解设备状态,详细解答操作员提出的问题。
3. 工法(Recipe)2优化功能助力实现高成品率
该系统搭载的“工艺解决方案”功能汇集了佳能迄今为止积累的光刻机优化案例,并对相关工法(Recipe)进行了优化。通过精细对准和线宽控制设置,可提供自动优化后的工法(Recipe),从新型半导体工艺投入初期开始,为实现高成品率3提供支持。此外,该系统还具备与APC4等工艺设备的接口,可与生产管理系统联动运行。
〈新产品特征〉
1.为半导体光刻机带来更高效的运营支持
Dash Board示意图
2.搭载能够有效提升半导体光刻机运转率的功能
部件定位手册
远程客户服务示意图
3.加入工法(Recipe)优化功能,助力实现高成品率
〈关于规格〉
产品规格详情,请参阅佳能官网的相关内容。
〈关于佳能半导体光刻机〉
〈佳能光学设备(上海)有限公司介绍〉
佳能光学设备(上海)有限公司是佳能在中国大陆地区成立的提供半导体及液晶面板生产设备营业辅助业务和技术支持业务的公司。所经营的产品除了佳能股份有限公司制造的半导体及液晶面板生产用曝光装置以外,还包括佳能机械公司,佳能安内华公司以及佳能特机公司承接的全部半导体及液晶面板生产设备。
佳能在中国大陆地区从事半导体及液晶面板生产设备业务的历史可以追溯到20世纪80年代,当时开始向中国出口半导体曝光装置(接近式曝光装置、镜面投影式曝光装置)。20世纪90年代又为上海地区的半导体客户企业提供了i线Stepper、等离子除胶设备、常压成膜设备等各类佳能集团制造的半导体设备。进入21世纪,随着中国半导体前道工艺的迅速发展,佳能进一步将KrF Scanner等高端的半导体曝光装置引进到国内。当时,佳能与三井物产集团建立了合作伙伴关系,进一步扩大了在中国的产品销售范围,在中国的液晶面板生产设备市场也得到了顺利的拓展,其中佳能的液晶面板曝光装置从中国液晶产业初期开始始终保持着极高的市场占有率。
如今,在半导体、液晶面板以及有机EL板等高科技制造业领域,佳能正在加快向亚洲生产基地、尤其是向中国市场的投资转移。今后佳能光学设备(上海)有限公司将作为佳能集团与顾客之间的桥梁,进一步加强对客户企业的支持力度,力争以此实现提高顾客满意度、扩大事业规模的目标。
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